信越化学工業、武生工場・直江津工場に140億円投資

信越化学工業(東京都千代田区)は11日、フォトマスクブランクス事業の拡大を目指し、武生工場、直江津工場に140億円を投資すると発表した。

近年、半導体デバイスの生産量の増加や微細化の進展により、フォトマスクブランクスの世界需要は汎用ArF品、先端ArF品ともに増加している。

今回、武生工場では新工場棟と先端ArF品を生産する設備を増強し、2021年4月までの工事完了を目指す。直江津工場では事業の中核である汎用ArF品を生産する設備を増強し、2019年末までの工事完了を目指す。この投資により、信越化学のフォトマスクブランクスの生産能力は現在の3割増となる。

設備投資概要

◇ 武生工場
所在地:福井県越前市北府2-1-5
生産品目:先端ArF品
完成予定:2021年4月まで

◇ 直江津工場
所在地:新潟県上越市頸城区西福島28-1
生産品目:汎用ArF品
完成予定:2019年末まで

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