ウシオ電機、御殿場事業所で投影露光装置を増産
ウシオ電機は11日、静岡県の御殿場事業所で投影露光装置を増産すると発表した。
今回、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要等が想定を上回っており、それに伴い高い解像性や重ね合せ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加していることから、同基板向け露光装置の更なる増産を決定した。
設備投資概要
所在地：静岡県御殿場市駒門1-90（御殿場事業所）
投資総額：15億円
投資内容：最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産スペースの拡張
生産能力：既存の生産能力を約1.3倍以上に増強
着工：2021年度上期（レイアウトの変更、生産設備の増強開始）
生産開始：2022年度上期中（生産能力1.3倍以上）
