荏原製作所、熊本事業所に半導体製造装置の新棟
荏原製作所は14日、精密・電子事業カンパニーの主力製品であるCMP装置をはじめとする装置事業の強化に向け、熊本事業所に新生産棟（仮称 K3棟）と藤沢事業所に新開発棟（仮称 V8棟）を建設すると発表した。
新生産棟では、生産能力を従来比1.5倍以上に拡大する。また、IoT技術を活用した生産システムの採用でDXを推進し、高効率生産ラインを確立する。加えて、脱炭素社会に向け、環境負荷低減を考慮した生産設備とする。
新開発棟は、開発エリアの拡充やIoTネットワークの整備による開発の加速に加え、最先端の開発装置、検査装置、ユーティリティ環境を活用した次世代のプロセス開発を行う。
半導体市場は、自動車、エネルギー、医療の分野での需要拡大や、IoT、DXの進展に伴い、大幅な成長が予測されている。それらを支える半導体製造装置には、用途や製造プロセスなど多様なニーズへの対応と加速度的な進化が求められている。
新開発棟・新生産棟の建設により、開発力・生産力を強化し、変化のスピードが速い半導体業界で、さらなる事業拡大を図る。
設備投資概要
◇ 生産棟
所在地：熊本県玉名郡南関町肥猪4000−1（熊本事業所）
施設内容：半導体製造装置の生産棟
建築面積：約14,500㎡
着工予定：2023年7月
竣工予定：2024年6月
◇ 開発棟
所在地：神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1（藤沢事業所）
施設内容：半導体製造装置の開発棟
建築面積：約4,300㎡
着工予定：2022年10月
竣工予定：2023年12月
