エア・ウォーター・メカトロニクス、半導体製造向けガス精製装置の増産
エア・ウォーターは18日、グループ会社のエア・ウォーター・メカトロニクス（旧日本パイオニクス、以下：AWメカトロニクス）が平塚工場内に建設を進めていた新棟が完成し、稼働を開始したと発表した。
昨今、全世界的に半導体工場の新設や拡張が相次いで計画され、同時に製造設備の大型化が進んでいる。AWメカトロニクスでは、こうした動きに対応できるガス精製装置の製作体制を構築するため、新棟を既存工場敷地内に新設した。新棟の稼働により、大型ガス精製装置の内製化や納期短縮が可能となり、製作能力は現行比1.6倍となる。
エア・ウォーターは今年4月、エレクトロニクス関連事業の機器装置分野を移管するとともに、関連事業であるエア・ウォーター・ベルパール（株）の機器装置事業とエア・ウォーター・プラントエンジニアリング（株）のガスアプリケーション機器製作事業をAWメカトロニクスに移管集約した。
AWメカトロニクスの平塚工場では、大気圧プラズマ処理装置やドライアイススノー精密洗浄装置といったガスアプリケーション機器のデモやサンプルテストに対応したテクノロジーセンターも併設しており、今後は、移管された半導体製造に関連した各種機器装置の開発から製造販売まで自社で一貫したソリューション提案ができる戦略拠点として活用し、拡大を続ける半導体市場の需要を取り込んでいく。
新棟概要
所在地：神奈川県平塚市田村3-3-32
投資額：約4億円
延床面積：820㎡
構造：鉄骨造 平屋建（一部3階有り）
生産品目：半導体製造プロセス用ガス精製装置
生産能力：現行比1.6倍
稼働日：2023年4月18日
