AGCエレクトロニクス、EUV露光用フォトマスクブランクス増産
AGCは27日、子会社のAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）が、EUV露光用フォトマスクブランクス（以下：EUVマスクブランクス）の生産能力を増強すると発表した。
高性能半導体の生産拡大に伴い、EUVマスクブランクスの需要は大幅な拡大が見込まれている。この需要増に応えるとともに、半導体製造プロセスの更なる微細化に必要とする次世代品を生産するため、今回の生産能力増強を決定した。同事業は、経済産業省による「サプライチェーン対策のための国内投資促進事業費補助金」の採択事業となっている。
2024年1月より稼働を開始し、段階的に増強を行うことにより、AGCグループのEUVマスクブランクス生産能力は2025年に現在の約30％増となる。
同社は、今後も大きな需要の伸びが見込まれるEUVマスクブランクス事業で積極的な設備投資を行い、2025年には売上高400億円以上を目指すとしている。
設備投資概要
事業内容：EUV露光用フォトマスクブランクスの製造
生産能力：現在の約30％増（2025年 AGCグループ）
稼働開始予定：2024年1月
