SCREENホールディングス、滋賀の半導体製造装置新工場が稼働
SCREENホールディングスは17日、彦根事業所の敷地内で2023年2月から進めていた半導体製造装置の新工場「S3-5（エス・キューブファイブ）」の建設を終え、操業を開始したと発表した。
総工費は約80億円。延床面積は約13,534㎡の鉄骨造地上3階建。新工場では、今回設置する全てのクリーンルームに省エネルギー対応の空調設備を導入するなど、生産設備の環境負荷低減に向けた取り組みについても継続して進めている。
新工場概要
名称：S3-5（エス・キューブファイブ）
所在地：滋賀県彦根市高宮町480-1
総工費：約80億円
建築面積：約4,500㎡
延床面積：約13,534㎡
構造：鉄骨造地上3階建
主な業務：主力製品である枚葉式洗浄装置の生産など
操業開始：2024年1月
