富士フイルム、米国アリゾナ拠点でCMP増産

富士フイルムは10月14日、米国アリゾナ州メサ市の生産・開発拠点に約30億円を投じ、CMPスラリーの生産設備を増強すると発表した。

AI関連需要の拡大を背景に先端半導体市場が成長し、先端ロジックや先端メモリー向けを中心に銅配線用CMPスラリーの需要が増加している。米国では半導体メーカーの設備投資や新工場建設も続き、需要拡大を見込む。

既存の銅配線用CMPスラリーの生産能力を高めるほか、前工程・後工程向けの多品種生産に対応する設備を新設する。対象にはFEOL、MOL向け製品や、ハイブリッドボンディングなど先端パッケージング向け製品を含む。

新設備は研究開発センターの成果を迅速に量産へ移管する役割も担う。2027年の稼働開始を予定し、中長期的な需要増に対応する安定供給体制を整える。

設備投資概要

総投資金額:約30億円
投資内容:銅配線用CMPスラリー生産設備
多品種用CMPスラリー生産設備
稼働開始時期:2027年

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