セントラル硝子、宇部工場を増設/六フッ化タングステン/年間150トンを製造

ガラス大手のセントラル硝子（本社：東京都千代田区）は7日、山口県宇部市の宇部工場を増設し、六フッ化タングステン（WF6）の製造設備を増設すると発表した。

六フッ化タングステン（WF6）を使用する半導体業界では、プロセスの微細化に伴い、今後使用量の大幅な増加が見込まれる六フッ化タングステン（WF6）の需給が逼迫しているため、年間製造能力150トンの新設備を建設する。

新設備は2017年1月の稼働開始を予定する。