富士フイルム、静岡・大分の生産拠点に200億円投資
富士フイルムは9月30日、子会社の富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズが、静岡と大分にある開発・生産拠点で、先端半導体材料の設備を増強すると発表した。
静岡拠点では、極端紫外線（EUV）向けフォトレジストをはじめとする先端レジストや、「Wave Control Mosaic」の開発・生産・品質評価機能を強化するため約130億円を投資し、新棟を建設する。新棟内にクリーンルームを設置するとともに、最新の検査装置などを導入。開発のスピードアップとともに生産能力の拡大、品質評価体制の拡充を進める。
大分拠点では、約70億円を投資し、既存の工場に隣接する土地に新棟を建設。半導体製造プロセスの基幹材料であるポストCMPクリーナーの生産設備や検査装置を導入し、大分拠点での生産能力を約4割拡大させる。ポストCMPクリーナーの市場は年率9%成長が見込まれている。今回の設備増強により安定・迅速供給を実現することで、さらなる事業拡大を図る。
設備投資概要
【静岡拠点】
場所：静岡県榛原郡吉田町川尻（FFEM静岡工場内）
総投資額：約130億円
投資内容：先端レジストやWave Control Mosaicの開発・生産・品質評価機能強化のための新棟（クリーンルームの設置・検査装置の導入などを含む）
稼働開始予定：2025年秋
【大分拠点】
場所：大分県大分市大字下郡字中新地
総投資額：約70億円
投資内容：ポストCMPクリーナーの生産能力増強、品質評価機能強化のための新棟（生産設備・検査装置の導入などを含む）
稼働開始予定：2026年春
