島津製作所、三条工場でTMPめっきライン増設
島津製作所は11月9日、三条工場（京都市中京区）で半導体製造装置向けターボ分子ポンプ（TMP）のめっき加工ラインを増設したと発表した。
生成AIの普及や半導体市場の拡大を背景に、半導体製造で使うTMPの需要が増加している。TMPは金属製ブレードを高速回転させて高真空を作るポンプで、半導体製造装置のほか、太陽光発電パネルや建材ガラスのコーティング装置にも用いる。
主要部品を腐食から保護するめっき加工の新ラインを2026年9月に稼働した。増設により、めっき工程の処理能力は従来比約2倍に高まった。
2027年夏には追加増設を予定し、処理能力を従来比約2.5倍へ引き上げる。協力会社とも連携して加工体制を整え、TMPの安定生産とサービス提供につなげる。
