東京エレクトロン、半導体製造装置増産/260億円で新棟
東京エレクトロンは25日、製造子会社である東京エレクトロンテクノロジーソリューションズの山梨（藤井）事業所、東北事業所内に新棟を建設すると発表した。
山梨（藤井）事業所では、約130億円を投じて延床面積約3万2千㎡、地上4階の建屋を建設。枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムを製造する。2019年1月の着工、2020年4月の竣工を予定している。
東北事業所では、約130億円を投じて延床面積約3万2千㎡、地上4階の建屋を建設。熱処理成膜装置の製造を行う。2018年10月の着工、2019年9月（1期）、2020年12月（2期）の竣工を予定している。
成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれていることから、需要増に対応する為、新棟の建設を決定した。
新棟概要
◇ 山梨（藤井）事業所
所在地：山梨県韮崎市藤井町北下條2381-1
投資額：約130億円
延床面積：32,455㎡
構造：鉄骨造/免震構造 地上4階
生産品目：枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム
着工予定：2019年1月
竣工予定：2020年4月
◇ 東北事業所
所在地：岩手県奥州市江刺岩谷堂字松長根52
投資額：約130億円
延床面積：31,777㎡
構造：鉄骨造/免震構造 地上4階
生産品目：熱処理成膜装置
着工予定：2018年10月
竣工予定：2019年9月（1期）
：2020年12月（2期）
