東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ、穂坂事業所に新開発棟
東京エレクトロンは21日、開発・製造子会社の東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ穂坂事業所(山梨県韮崎市)に建設していた新開発棟が完成し、竣工式を行ったと発表した。
今後のデジタル社会への移行による技術革新に伴い、半導体市場は大幅な成長が予想されている。東京エレクトロンテクノロジーソリューションズが開発・製造している製品群は、半導体の線幅が小さく、また多様化、複雑化する中で、技術革新の要として繰り返しおこなわれるパターニング技術の進化とともに、大きな成長が見込まれている。
新開発棟の竣工により技術開発力をさらに強化し、市場と顧客の求める機能を備えた製品をタイムリーに提供していく。
新開発棟概要
所在地：山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢650
延床面積：約21,000㎡
構造：鉄骨造/免震構造
階数：地上4階、地下1階
用途：成膜装置、ガスケミカルエッチング装置など半導体製造装置、パターニング技術とプロセスインテグレーションの開発
着工：2021年12月
完成：2023年6月
