JSR、韓国に半導体フォトレジスト用新工場建設

JSRは8月30日、国内にフォトレジストの開発拠点を新設し、韓国の現地法人JSR Micro Korea Co.,Ltd.(JMK)に半導体フォトレジスト用新工場を建設すると発表した。

同社は2021年の米国Inpria社買収以降、グローバルに最先端EUV用フォトレジストであるメタルオキサイドレジスト(MOR)の事業化を進めてきた。日本では、同社の四日市工場内にある精密電子開発センターに加えて、グローバルな顧客対応やパートナー企業と連携しやすい関東エリアにMOR用の新たな研究開発拠点の整備を決定し、今秋から工事に着手する。

今回、韓国に建設するのはMORの最終生産工程を担う工場。MORは韓国における大手顧客での採用検討が進んでおり、同投資は現地での品質保証能力と製造キャパシティを担保するもの。稼働開始は2026年を見込んでいる。

新工場概要

所在地:韓国・忠清北道清州市
事業内容:メタルオキサイドレジストの製造
稼働開始予定:2026年

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