TOTO、豊前工場に半導体部材新棟/600億円投資

TOTOは10月30日、福岡県豊前市のTOTOファインセラミックス豊前工場内に、先端半導体向け静電チャックとAD部材の次世代品を量産する生産施設を建設すると発表した。

AI半導体やデータセンターの拡大を背景に、半導体製造装置で使う静電チャックとAD部材の需要増に対応する。現行品では増産投資を継続してきたが、次世代品でも将来の必要生産量を見据え、生産能力を先行して確保する。

投資額は約600億円。新棟は建築面積約1.2万m²、延べ床面積約3.6万m²の3階建て鉄骨造で、セラミック事業の生産施設として最大規模となる。2029年度上期の生産開始を予定する。

AD部材では、大分県中津市のTOTOサニテクノ本社・中津工場とTOTOファインセラミックス本社・中津工場にも、次世代品量産に向け約110億円を投じる。2028年度内に生産を始める計画。