堀場エステック、京都福知山工場が本格稼働

堀場エステックは6月11日、主力のマスフローコントローラー（MFC）や薬液濃度モニターなどを生産する京都福知山工場（京都府福知山市）の本格稼働を開始したと発表した。

半導体市場は需要変動が大きく、増減産に柔軟に対応できる量産基盤の整備が課題となっていた。延床面積約23,000m²の同工場は自働化ラインや自動搬送装置を導入し、高効率な生産体制を構築した。MFCの調整工程にロボットアームを採用し、工程内搬送にAGVやAMRを活用する。国内のMFC生産能力は将来的に最大約3倍、薬液濃度モニターは最大約2倍まで拡張可能。

工場運営では独自のデータマネジメントシステムで設備の運転データやモニタリング情報を統合・可視化し、生産管理とエネルギー運用の最適化に取り組む。隣接する研究開発拠点と工程データを共有し、AIやデジタルツインを用いた開発効率化も進める。ZEBを実現し、約5,000m²の太陽光パネルと水素活用で電力の自家消費と貯蔵を組み合わせる。