トクヤマ、韓国でフォトレジスト用現像液の増産

トクヤマは6月19日、持分法適用会社の韓徳化学が韓国・平沢市でフォトレジスト用現像液「テトラメチルアンモニウムヒドロキシド」（以下：TMAH）を製造する新工場の起工式を行ったと発表した。

半導体製造工程でフォトレジスト用現像液として使うTMAHの需要増を見込む。新工場建設により、現有のTMAH生産能力を将来的に50%引き上げる。新工場は2027年9月に営業運転を開始する予定。

韓徳化学はロッテケミカル株式会社(英名：LOTTE Chemical Co., Ltd)との合弁で運営している会社で、蔚山市で1995年からTMAHの製造販売を行っている。