三菱ケミカル、九州事業所に半導体向け材料の新設備

三菱ケミカルは8月19日、福岡県北九州市の九州事業所・福岡地区に、最先端半導体向け超高純度コロイダルシリカの生産設備を新設すると発表した。

生成AIやデータセンター向けを中心に最先端半導体市場の成長が見込まれるため、半導体製造材料の供給体制を整える。

新設備では、シリコンウエハ配線層向けCMPスラリーなどの原料となる超高純度コロイダルシリカを生産する。超高純度のテトラメトキシシランから一貫生産し、不純物の含有を抑える。粒子サイズや密度なども顧客ニーズに応じて調整できる。2028年10月の営業運転開始を予定する。