ADEKA、千葉工場で光酸発生剤の生産設備増強

ADEKAは8月20日、千葉県袖ケ浦市の千葉工場で先端フォトレジスト向け光酸発生剤の製造ラインを増設すると発表した。

半導体市場の拡大に伴い、微細化に不可欠なフォトレジストの需要が増加している。EUV露光技術の進化やPFASフリー化を背景に、材料には高い性能・品質が求められる。

既存建屋内に製造ラインを新設し、EUVリソグラフィ向け光酸発生剤の供給能力を従来比約2倍に引き上げる。投資額は約10億円。1ppbレベルのメタル管理を維持しつつ、生産体制を最適化する。

2027年1月に着工し、2028年2月の完工を経て、同年9月の営業運転開始を予定する。埼玉県久喜市の半導体イノベーションセンターで開発・評価を進めるPAGモノマーについても、将来需要に向けた量産供給体制の整備を2年前倒しで進める。